粒子計數(shù)器可以用于測量潔凈環(huán)境單位體積空氣內(nèi)定的塵埃粒子大小及數(shù)目，它是顯微鏡發(fā)展而來，經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數(shù)器、激光空氣粒子計數(shù)器、PCS納米激光空氣粒子計數(shù)器的過程，

　　粒子計數(shù)可采用激光粒子計數(shù)器或凝聚核粒子計數(shù)器。粒子計數(shù)器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì);可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì)，目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計數(shù)器。粒計數(shù)器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強光，使粒子發(fā)射出散射光，經(jīng)過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖，由脈沖數(shù)求得顆粒數(shù)。根據(jù)粒子散射光的強度與粒徑的函數(shù)關(guān)系得出粒子直徑。粒子計數(shù)器是高純或超高純供氣系統(tǒng)中必不可缺的儀器。價格較昂貴。

　　塵埃粒子計數(shù)器的注意事項：

   　1、沒有高壓減壓設備(如高壓擴散器)不要取樣壓縮空氣，所有的粒子計數(shù)器被設計用于在一個大氣壓下操作。

　　2、當入口管被蓋住或被堵塞，不要啟動計數(shù)儀

　　3、不要測有可能產(chǎn)生反應的混合氣體(如氫氣和氧氣)。這此氣體也可能在計數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生爆炸。測這些氣體需與廠家聯(lián)系為取得更多的信息。