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10萬級無塵車間空氣參數(shù)要求

無塵車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。那么10萬級無塵車間作業(yè)環(huán)境有哪些規(guī)定?
  10萬級無塵車間作業(yè)環(huán)境規(guī)定如下:
  1、無塵車間標準溫度:21℃-25℃,濕度:50%-70%,每天要有溫度表記錄。
  2、落塵量檢測每三個月委外檢測并附檢測結果至公司管理部存檔。
  3、作業(yè)員上下班前10分鐘將各自工位環(huán)境進行清潔處理(含加班時間),由主管級人員不定期審核確認。
  10萬級無塵車間室內(nèi)空氣參數(shù)要求:
  (1)溫濕度要求:溫度一般為24+2 ℃ ,相對濕度為55+5%
  (2)新風量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。
  3)送風量大。為了滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
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