潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。
空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內沒有生產人員的情況下進行測試。
動態(tài)測試潔凈室已處于正常生產狀態(tài)下進行測試：潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行。
每立方米大于等于0.5μm的塵粒數(shù)不能大于35200000個；每立方米大于等于1μm的塵粒數(shù)不能大于8320000；每立方米大于等于5μm的塵粒數(shù)不能大于293000。
足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣，根據(jù)不同的潔凈度要求，當潔凈室凈高較高時，適當增加換氣次數(shù)。其中，100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮。